第(3/3)页 “这个是没办法的事情,我们的一些工艺也会被强制共享出去一部分。” “绕不开?”陈星皱着眉问道。 “绕不开。”林先动说道:“只要做平面 FG NAND,单元底层结构必然落入其专利保护范围,无任何的绕开空间,28nm 以下平面 FG 天生存在浮栅导体耦合串扰、隧穿氧化层漏电、擦写耐久差三大物理短板,没有任何改良的路径。” “这是物理特性决定的,不以人为意志转移。” 这种纯技术的东西,陈星就有点抓瞎了,他知道知道2D平面NAND这条路线会被走死,未来会向3DNAND发展,更知道3DNAND的一些技术路径。 可你要是让他说2DNAND技术路径和绕开专利,那真抓瞎。 毕竟上一世自己出生的时候红星走的就是3D路线,压根就没经历过2D时代。 回想了半天,陈星也只想起来一个氮化硅,主要2D平面NAND是这玩意上一世的时候《红星本纪》里面压根就没写过啊,自家老爹也从来没提过。 氮化硅三个字还是一个叫尹阳君的朋友告诉他的。 “那个,陆教授,林博士,要不你们试试氮化硅?” 陈星只说了这一句,多了也没法说,也不知道说什么,氮化硅是在哪个节点用的,怎么用的,统统不知道。 “氮化硅?” 林先动咂摸着这个名字,不知道陈总为什么会突然说这东西。 和闪存工艺以及IBM的专利好像没什么…… 不对! 第(3/3)页